江苏泰州：先锋精科半导体先进制程核心工艺器件研发制造项目在靖江开工

18日，先锋精科半导体先进制程核心工艺器件研发制造项目在江苏省泰州市靖江经济技术开发区开工。

先锋精科是靖江本土培育的国家级专精特新“小巨人”企业，2024年成功登陆科创板。企业主要研发生产半导体刻蚀和薄膜沉积设备关键精密零部件，已完成从单点技术突破到全链条能力构建的跨越，是国内少数实现7纳米及以下先进制程关键零部件量产的供应商，也是支撑国产设备向先进制程跃迁的关键力量。

此次开工的项目计划总投资8亿元，将重点推进半导体先进制程核心工艺金属器件扩建、半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发生产、半导体设备用陶瓷静电吸盘研发等三大核心板块建设，致力在高价值关键功能器件及配套组件方面打破技术瓶颈，推动我国半导体产业链实现自主可控。

编辑：钱宇璇

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